近日,我院何刚教授课题组在微电子器件研究领域取得重要进展,其研究成果分别以“Solution-Processed DyOx for Aging Diffusion ZnSnO Transistors and Application in Low-Voltage-Operating Logic Circuits”和“Eco-Friendly Fully Water-Driven Metal-Oxide Thin Films and Their Applications in Transistors and Logic Circuits”在国际微电子领域权威期刊IEEE Transactions on Electron Devices发表。2017级博士生杨兵同学和2017级硕士生张冲同学分别为两篇论文的第一作者,何刚教授为论文通讯作者。论文链接:
https://ieeexplore.ieee.org/document/8755323
https://ieeexplore.ieee.org/document/8784192
IEEE(电气和电子工程师协会)是目前全球最大的非营利性专业技术学会,致力于电气、电子、计算机工程和与科学有关领域的研究与开发,现已发展成为具有极大影响力的国际学术组织。IEEE Transactions on Electron Devices是IEEE出版社旗下的微电子领域的权威期刊,在国际微电子领域享誉盛名。
21世纪在显示领域是平板显示的时代,而绝大多数平板显示器件都是有源矩阵液晶显示器件(AMLCD)。在AMLCD像素中引入薄膜晶体管(TFT)开关元件和存贮电容,可大大提高显示器件性能,这使得TFT成为液晶乃至整个平板显示的主导技术。具有高介电常数的薄膜电子材料一直是该研究领域的重心,同时也是低功耗显示器、CMOS集成电路必不可少的组成部分。何刚教授课题组利用全溶液工艺制备了基于稀土元素掺杂的栅介质,低温构筑了高性能的薄膜晶体管和逻辑反相器,对于低功耗、便携、低能耗柔性器件的研发具有重要的意义。最近几年,该课题组采用低成本溶胶凝胶旋涂技术在高k介电TFT器件领域取得一系列重要进展(Adv. Electro. Mater., 2018, 4, 1800100;ACS Appl. Electro. Mater., 2019, 1, 6255; IEEE Trans. Electro. Dev., 2018, 65, 2870)。这次发表在IEEE Transactions on Electron Devices上的研究工作标志着我院在低功耗、高性能、低成本微电子器件领域开创并引领着新的科研方向。
该研究工作得到了国家自然科学基金(11774001, 51572002)及物科院开放基金(S01003101)等项目的资助。
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