近日,我院何刚教授课题组在柔性显示器件领域取得重要进展。该组一篇研究文章“Nontoxic, Eco‐friendly Fully Water‐Induced Ternary Zr–Gd–O Dielectric for High‐Performance Transistors and Unipolar Inverters”在电子器件权威刊物《Advanced Electronic Materials》上在线发表。 论文链接: https://doi.org/10.1002/aelm.201800100; 这是继2018年该课题组在Advanced Electronic Materials发表论文后又一进展 https://doi.org/10.1002/aelm.201700543 。
该论文创性地报道了利用全水溶液合成的方法制备了ZrGdOx和In2O3及其在薄膜晶体管和反相器上的成功应用。多年来,超薄高k栅介质薄膜和薄膜晶体管一直是柔性显示器件领域的研究重点,同时也是低功耗显示器、CMOS集成电路必不可少的组成部分。该课题组利用价格低廉的基于全水溶液的溶胶技术低温制备了性能优异的ZrGdOx高k栅介质薄膜。器件测试结果表明TFT器件可以在5 V低压下稳定操作,在2V低压操作下反相器增益高达7.4,对低能耗柔性器件的发展具有重要的意义。 该研究工作同时得到了三项国家自然科学基金面上项目的支持(11774001;51572002;11474284)和安徽省自然科学基金面上项目(1608085MA06)专项资金的经费支持。 |
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